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中微公司首台等离子体晶圆切割设备成功交付

金色财经
金色财经|2026年11月10日 12:11
近日，中微半导体设备（上海）股份有限公司正式发布其全新产品——Primo Matrix双反应台等离子体晶圆切割设备，并宣布全球首台设备已顺利付运国内重要集成电路封装客户。(金色财经)
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